愛德華干泵的適用范圍都有哪些呢，現在知道還不晚

　　愛德華干泵是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內無油或其他工作介質，而且泵的極限壓力與油封式機械真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。

　　本產品結構由一級根部級和多級反爪級組成。泵進口設有單級羅茨級，其次為三級爪級，使低壓區效率更高。第二級爪的反設計使二級爪的出口與第二級的入口成直線，從而實現了直接的短氣路。短程、簡單、高電導率的氣路有助于提高真空性能和功率利用率，并可獲得可冷凝蒸汽和顆粒處理能力。

　　本產品三級爪形結構，可實現真正的非接觸、自閥（用于輕氣體吸入）、自清洗（適用于惡劣環境或顆粒物生產應用）和優化的內部溫度分布（提高蒸汽處理能力）；并保證泵能在額定值下連續運行從大氣壓。

　　愛德華干泵的適用范圍都有哪些呢？趕緊來看看吧。

　　1、低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；

　　2、半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；

　　3、除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求；

　　4、在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵；

　　5、用做一般無油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染。

　　愛德華干泵配有軸封吹掃裝置（N2或壓縮干空氣CDA），在泵的掃過容積和油齒輪箱之間形成一個氣障，避免工藝氣體進入密封，并防止齒輪箱的油進入掃過容積，保證很高的清潔度。在沒有壓縮氣體供應的地方，如果運行壓力持續低于133毫巴（100托），且不存在有毒、易燃或腐蝕性氣體時，可使用大氣密封吹掃包。